近日，我司自管基金投資企業合肥御微半導體技術有限公司（以下簡稱“御微半導體”）首臺Halo-100 掩模基板缺陷檢測產品成功發運，并順利交付國內先進掩模廠。

御微半導體自主研發的Halo-100設備作為御微“掩模全生命周期質量控制”產品線的第二款產品，憑借御微多年來在掩模檢測領域積累的豐富經驗和技術儲備，以高精度光學系統、高穩定性運動臺系統以及高潔凈度環控與傳輸系統為基礎，結合御微專有的算法和軟件系統，成功實現了針對掩模基板(blank)缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應用領域拓展至掩模廠來料檢和掩模基板廠全制程控制檢。 

御微半導體Halo-100掩模基板缺陷檢測產品

我司于2023年初通過合肥國正多澤產業投資合伙企業（有限合伙）投資該企業，另外，國正公司參股基金合肥石溪產恒二期、長三角數字基金共同助力御微半導體，未來，國正公司將充分利用資源，為御微半導體提供持續的產業賦能與支持，護航企業穩步發展，推動半導體產業鏈快速發展。